《半导体》家登:EUV极紫外光光罩传送盒双版本,通过ASML认证

半导体产业本季进入需求旺季,加上G/GP Type EUV极紫外光光罩传送盒通过ASML认证直接带来的订单效益,伴随中国半导体市场客户在中美贸易战影响下的紧急转单需求,家登产能满载并延续至明年第一季。此波半导体需求为家登带来营收挹注并将拉升本业营运获利,家登半导体本业的营运效能将在EUV极紫外光光罩传送盒的带领下,伴随全球半导体技术走向先进制程,2019年家登整体营运表现值得期待。

耗时近两年,家登专注资源与ASML合作开发新版本的EUV极紫外光光罩传送盒,目标锁定为更高更严密的防污染、防缺陷性能。本次认证的G/GP Type EUV极紫外光光罩传送盒规格与条件定更为严谨,在ASML的协助下历经各种专业测试,家登全数通过功能性、抗缺陷性及远距运送等各项测试,正式取得ASML认证,G/GP Type EUV极紫外光光罩传送盒可用于微影技术IC大量制造ASML最新曝光机NXE3400B及其他先进机台上。此外,家登同时提供G-Type(无光罩护膜)及GP-Type(有光罩护膜)两种版本,满足客户不同性能与规格要求,成为客户在先进制程上提高良率与效率的伙伴。

家登G/GP Type EUV极紫外光光罩传送盒取得认证,将可望为家登带来新一波营运高峰。世界各大晶圆制造厂新一代ASML曝光机于今年已陆续安装完成,直接带动家登G/GP Type EUV极紫外光光罩传送盒需求急速攀升,针对今年全球大客户3倍以上的订单需求,家登树谷厂及南科厂生产基地已做好全面量产准备,随时可以提供全球大客户从试产到2019全面量产的G/GP Type EUV产品需求。