《半导体》台湾厂再生水替代率 台积电拚2030年达6成

台积电南科再生水厂为南科园区内首座由民间企业自行投资开发兴建的再生水厂,由台积电委托中鼎(9933)进行投资设计、兴建及20年操作营运,为首度应用于半导体生产的工业废水再生水厂。营运/厂务副总经理庄子寿指出,工业废水的处理工序较民生用水多出逾4倍。

庄子寿表示,水资源对半导体制程尤其重要,面对极端气候警示及台湾去年面临前所未见的干旱,台积电肩负环境永续发展重任,承诺减少对环境冲击、减废并追求水资源最佳使用效率,考量企业永续发展,集团依循水资源管理策略,致力发展多元创新技术。

庄子寿说明,半导体制程对水质极为敏感,须将工业废水处理到比自然水还纯化。此套水资源循环系统实际上耗时8年孕育,从早期在晶圆厂建立小型试产线,经再生水研发团队优化技术后,再交由中鼎工程建造可量化的再生水厂,如今终于正式通水启用。

庄子寿指出,台积电实践绿色制造,深耕水资源风险管理,致力拓展多元水资源。历经多年努力,目前台湾厂区内倚建立每滴水可重复使用3.5次的水资源循环系统,此次南科再生水厂正式落成启用,为全球绿色技术创新的重要里程碑。

台积电期待借此抛砖引玉,吸引各产业共同支持使用再生水,加速相关产业及技术发展。未来将持续积极与政府合作推动再生水计划,不排除在竹科、中科等地建置再生水厂,目标2030年台湾厂区再生水替代率达60%。