大厂3奈米步量产 家登欢呼

家登月合并营收表现一览

虽然半导体生产链库存去化持续进行，但先进制程推进时程并未放缓，包括台积电、三星、英特尔等3奈米将逐步进入量产，而关键的极紫外光（EUV）曝光机亦需升级至NXE：3600D。

由于新曝光机台搭配的极紫外光罩盒（EUV Pod）必须全面升级至第二代（phase 2），家登（3680）已率先完成认证，不仅下半年开始放量出货，且平均销售价格（ASP）较前代提高10～15％。

虽然2023年半导体市场能见度低且不确定性高，库存去化最快要等到第二季才能解决，但包括台积电、英特尔、三星、SK海力士、美光等全球前五大半导体厂仍积极投资EUV产能。而在先进逻辑制程部分，今年3奈米进入量产阶段，最新曝光机NXE：3600D已全面导入生产，在每平方公分30毫焦耳（mJ）的光源辐照能量情况下，每小时晶圆产出已达160片，较上一代机型提升18％。

设备业者说明，3奈米制程已进入量产阶段，新一代微影曝光机NXE：3600D需要更换全新的第二代EUV Pod，全部的EUV Pod都需要升级。

法人表示，家登第二代EUV Pod已获艾司摩尔（ASML）认证，下半年将开始量产出货，且新款EUV Pod价格较上代提高10～15％，有助于家登营运更上层楼。

而ASML日前说明EUV技术及曝光机技术蓝图，以目前主流的0.33数值孔径（NA）来说，2021年晶圆代工5奈米制程每片晶圆平均光罩层约逾10层，但2023年制程进入3奈米之后，每片晶圆平均光罩层约将倍增达20层，可望带动EUV Pod需求明显增加，法人预期家登约8成市占率将带来显著成长动能。

家登公告今年1月因农历春节导致工作天数减少，单月营收降至3.14亿元，较去年同期减少6.9％，若扣除去年第二季出售的吴江新创汽车营收，则1月营收较去年同期呈现年增。以家登在手订单来看，预期第一季营收会逐月成长，全年营运亦会逐季成长，对今年营运维持乐观看法。

法人表示，家登EUV Pod产品通过认证，新产品出货比重拉高有助提升整体ASP，加上前开式晶圆传送盒（FOUP）接单畅旺，看好家登今年光罩载具市占提升至八成，晶圆载具市占提升至五成，自动化设备市占提升至1成，乐观预估未来三年营收年复合成长率可达20％。家登不评论法人预估财务数字。