大陆推进EUV还需10年　ASML CEO：禁令有效果

艾司摩尔执行长 Christophe Fouquet近日受访时提到，大陆晶片制造商要进入EUV时代还需要10至15年。（图／美联社）

半导体设备龙头艾司摩尔执行长 Christophe Fouquet近日受访时提到，目前大陆主要的晶片生产商虽然取得不错的进展，但是在EUV设备禁令下，与西方国家仍有10至15年的差距。

Christophe Fouquet指出，虽然目前大陆的中芯国际利用DUV可以生产7奈米晶片，但是成本、良率仍然没办法与台积电相比，如果要开发EUV相关设备至少还需要10至15年的时间。

过去艾司摩尔与合作伙伴建立EUV的生态系花费超过20年的时间，虽然大陆不需要从头开发所有的东西，但是当大陆进展到Low-NA EUV 设备时，西方国家已经有High-NA EUV技术、甚至已经开发出Hyper-NA EUV设备。

目前华府针对艾司摩尔提出禁止协助大陆公司维修、维护DUV设备的禁令，但仍未被荷兰政府同意，主要是艾司摩尔希望维持对大陆DUV设备的控制权，否则让大陆公司接手后，许多机密资讯将会外泄。