工研院量測研發成果 獲德律、研創資本、新纖注資共創歐美科技

在经济部产业技术司支持下，工研院新创公司「欧美科技」30日举办开幕记者会，以非破坏光学技术为半导体先进封装带来突破性的检测应用。图左起：研创资本董事长刘佳明、德律科技副总经理暨发言人林江淮、欧美科技董事长陈炤彰、经济部产业技术司简任技正张能凯、工研院副院长胡竹生、工研院行销长林佳蓉、工研院量测技术发展中心执行长林增耀。图／工研院提供

在经济部产业技术司支持下，工研院新创公司「欧美科技」30日举办开幕记者会，以非破坏光学技术为半导体先进封装带来突破性的检测应用，在AI浪潮席卷全球之下，运用半导体矽穿孔量测研发成果，推动AI晶片高阶制程提升整体良率，帮助半导体业者快速鉴别产品。欧美科技也获得德律科技、研创资本、新光合成纤维等注资。

经济部产业技术司简任技正张能凯表示，半导体在科技生活中扮演重要角色，AI人工智慧、5G、云端运算、AIoT物联网等都需要庞大的运算支撑，其背后首要关键便是半导体，根据研调机构预估，AI、5G、高效能运算等带动下，2024年台湾半导体产值有望达4.9兆元、成长14％。随着终端装置性能越来越高阶，带动晶片不断微小化，以及从2D演进至3D不断垂直向上堆叠，其中纵向串联的矽穿孔（Through Silicon Via；TSV）至关重要，利用穿孔让电路畅通、晶片互连，就像大楼要有电梯让人上下楼。很高兴在「新创专章」擘划的蓝图下，看到法人不畏先进制程挑战，研发尖端技术并落实成真正商品，为台湾半导体产业提供独步全球的重要前瞻利器，协助业者解决高深宽比孔洞不好量测的挑战。

工研院副院长胡竹生表示，此技术有两大特色，第一，非破坏检测，不用切片破坏晶片，相比传统破坏性检测得花费约一天以上时间才能进行检测，现在只要数分钟，无需切片真空即可完成检测。第二，矽穿孔量测具高深宽比，深宽比越高不仅代表制程越难，也考验检测设备厂商的量测孔洞检测技术，此技术深宽比可高达30，优于目前市场技术仅约10，且比起传统需分段扫描，可一次垂直扫描，更有效率改善产品良率，降低报废品。此外，相较传统检测设备多用深紫外光扫描，已受到国际专利或大厂垄断，此技术采用自行设计之全光谱光源照射孔洞扫描量测，且无须高精度移动平台。期望此次「欧美科技」投身市场，能提升我国检测设备厂商产品竞争力，更有利于半导体业者进而提升良率，助力半导体先进制程发展。

德律科技副总经理暨发言人林江淮表示，德律科技深耕光学检测设备多年，客户遍及全球电子产业，非常看好TSV量测技术在AI与半导体产业的检测应用，第一次转投资半导体先进封装关键技术就是工研院的新创「欧美科技」，双方携手合作将可提供先进封装产业优越的光学检测设备。研创资本董事长刘佳明提到，看好TSV量测技术在先进封装领域前景可期，第一个投资案就是「欧美科技」，同时也努力促成跨领域的异业结合。新光合成纤维投资事业部副总经理萧志隆指出，新纤集团业务广泛，各种应用端都有AI需求，期待在此次合作下，能于半导体领域开拓跨域生态系。

欧美科技董事长陈炤彰表示，欧美科技在分离数值孔径干涉技术（Separated Numerical Aperture Interference Technology；SNAIT）基础上提升光学系统讯杂比，解决过去扫描式电子显微镜（SEM）需进真空、破坏样本，且检测流程旷日废时，或是其他光学检测方法无法深入等痛点。锁定AI掀起庞大的半导体商机，除了3D IC、先进封装、异质整合，像是IC载板或玻璃基板发展等也都有发挥空间，也能与制程设备整合，欧美科技与策略伙伴合作下，极有信心为台湾半导体护国神山群再添一笔佳绩。

为协助我国半导体产业维持全球领先地位，工研院擘画「2035技术策略与蓝图」，发展「智慧化致能技术」促成应用领域，尤其注重半导体相关前瞻技术研发，此次以半导体矽穿孔量测衍生新创公司「欧美科技」，为业界带来更有效率的检测方案，期待携手产业一同升级、抢攻AI人工智慧大饼。

工研院新创公司「欧美科技」提供具专利的半导体检测方案，解决过去扫描式电子显微镜需进真空、破坏样本，且检测流程旷日费时，或是其他光学检测方法无法深入等痛点。图／工研院提供

欧美科技董事长陈炤彰（左）与大股东德律科技全球营业处副总经理林江淮与领先全球的TSV量测设备合影。记者李珣瑛／摄影