金徕教您如何选择真空等离子清洗设备？

真空等离子体清洗设备诞生于20世纪初，近年来在许多高科技领域占据关键技术地位。等离子体清洗设备技术率先推动了电子信息产业的发展，特别是半导体和光电产业的发展。因为等离子清洗机已经在很多行业得到了广泛的应用，今天金徕就来说说如何选择真空等离子清洗设备。在真空等离子体清洗设备的选择上，主要考虑以下几个方面。

一、腔体容量 1、工件容量： 一般来说，真空等离子清洗机的分类主要是根据空腔的大小和空腔的材质来划分的。在选择腔体尺寸时，首先要考虑的是工件的尺寸，也就是说，至少要把工件放下来。如果工件放不下，再考虑它的元素就没有意义了。 2、生产能力： 对于生产能力较高的产品，必须根据生产能力选择型腔容量。腔体容量越大，每次加工的物品越多。如果生产能力要求不高，则应优先考虑工件能力。在可下载零件的情况下，根据其生产能力计算出合适的型腔容量。

二、选择什么频率的真空等离子清洗设备 近年来常见频率为40kHz、13.56MHz和20MHz。40kHz的自偏压约为0伏，13.56MHz的自偏压约为250伏，20 MHz的自偏压较低。激发频率的作用机理不同。40兆赫反应是物理反应，13.56兆赫反应既有物理反应又有化学反应。在20兆赫有物理反应，但更重要的是化学反应。

三、腔体材料的选择 近年来比较常用的腔体材料有石英腔体、不锈钢腔体、铝合金腔体等，石英腔体温度低，不易反应。铝型材的优点：铝型材密度低，强度高，优于钢，加工性能好。铝具有良好的导电性、导热性和耐腐蚀性。该材料具有良好的化学反应相容性，不易产生金属污染，无污染等。

四、真空泵的选择 无论是选择国产还是进口，是单级泵还是油泵，是单级泵还是双极泵，大家可以根据客户的实际需求来选择每一种真空泵，这里就不多说了。

五、气路选择 真空等离子清洗设备是两个通道，但这不能满足所有的加工要求。如果需要较多的反应性气体，则应适当增加气体通道，这也是基于用户选择多个通道的实际需求。 以上是金徕从五个方面为大家讲解如何选择真空等离子清洗设备。