康寧推出熱膨脹接近零、可對應小製程晶片生產的EXTREME ULE Glass

康宁宣布推出对应半导体生产需求的玻璃产品—EXTREME ULE Glass，标榜能对应下一代晶片制程技术，借此推动以更小制程催生更高效能的人工智慧运算能力。

EXTREME ULE Glass采用新材料设计，将能协助半导体制造商改善用于晶片设计模版的光罩设计，可承受最高强度的极紫外光 (EUV)黄光制程技术，以及高数值孔径 (High NA)的极紫外光照射。

其中，EUV黄光制程技术允许半导体制造商使用最先进的光罩，借此针对更小、更复杂的晶片设计进行图案化与印刷最佳化。该制程需要极高的热稳定性和均质的玻璃材料，以确保制造效能一致。

「随着人工智慧的兴起，对于积体晶片制造的需求日益增长，玻璃技术的创新比以往任何时候都更加重要。」康宁先进光学副总裁暨总经理Claude Echahamian说道：「康宁的EXTREME ULE Glass将有助于实现更高功率的EUV制造和更高的良率，在追求摩尔定律中扩大康宁所扮演的积极角色。」

EXTREME ULE Glass以二氧化钛矽酸盐玻璃材料制作，透过接近零的热膨胀特性有助于在所有光罩中维持一致性，而玻璃的平整度和均质性表现更大幅降低光罩波度 (waviness)，有助于制造商控制不必要的变因，并且推动高阶镀膜的应用，此外也能减少生产过程使用能源与废弃物比例。

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