朗姆研究公司申请等离子体室中温度实时控制专利，促进在等离子体室内实现和维持温度值

金融界2024年10月31日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“等离子体室中温度的实时控制”的专利，公开号 CN 118841305 A，申请日期为2019年7月。

专利摘要显示，描述了用于在等离子体室内温度的实时控制的系统和方法。该方法中的一者包含实时感测耦合至电压源的轨的电压。电压源供给电压至等离子体室的多个加热器元件。所感测的电压用于调整加热器元件中的对应的一或更多个的一或更多个工作周期。经调整的一或更多个工作周期促进随着时间的推移在等离子体室内实现和维持温度值。

本文源自：金融界

作者：情报员