兩岸人物／中微尹志堯 慢工出細活

60岁创业，中微半导体董事长尹志尧坚信，一旦华人自主发展积体电路领域，一定能达到世界最先进水平。 （网路照片）

8月初，大陆半导体刻蚀设备龙头厂中微公司宣布启用其位于上海临港的产业化基地。中微创始人、董事长兼总经理尹志尧在致辞时表示，中微目标是2035年在规模和竞争力上，成为全球第一流的半导体设备公司。

尹志尧是1944年出生，今年已有80岁。根据21世纪经济报导，他在现场动情表示，已经带领中微20年，期待20年后在庆祝中微公司40周年之时再相聚。

中微公司的成长历程是大陆半导体设备产业的一个经典案例。从2004年一张白纸开始的初创公司，成长为2019年首批科创板上市企业；从当初一支仅有15人的创业团队，逐渐成长为如今全球员工超过两千人的规模。

尹志尧小档案

证券时报报导，中微从起步阶段在技术领域不断探索尝试，到拥有两千余项授权专利、技术能力；从2007年首台刻蚀设备、薄膜设备研制成功并运往大陆国内客户，到2024年公司累计已有超5,000个反应台在大陆国内外130多条生产线实现量产和大规模销售。

尹志尧阐述如何积累技术沉淀时曾说：「慢工出细活。我们做的事情真的不能着急。我们的刻蚀机从微米水准做到奈米水准，现在我们最好的刻蚀机已经做到了皮米（1奈米=1,000皮米）水准，相当于头发丝350万分之一的精准度。过去说十年磨一剑，现在其实是二十年还没把剑磨好，还在继续往前磨。我认为科技发展最重要的就是这么几个因素：资金、人才和耐心。」

如今，中微公司不仅是大陆国内半导体设备的领先企业，也是国际半导体设备产业冉冉升起的一颗新星。

在尹志尧看来，未来三至五年大陆半导体行业发展空间仍很大。中微未来的策略是三维立体生长。第一个维度是积体电路设备，从刻蚀到薄膜再到检测等关键领域，更多地去做开发； 第二个维度是泛半导体设备，公司将借助现有技术积累，扩展布局显示、微机电系统、功率器件、太阳能领域的关键设备。

他指出，中微还在考虑第三维的发展，利用中微的核心竞争力，在国计民生中找到更多应用领域。这就是该公司的基本战略，要把鸡蛋放在不同的篮子里，保持公司的高速发展、稳定发展。按规划，预计未来五到十年，中微公司将透过自主研发以及携手行业合作伙伴，覆盖积体电路关键领域50%至60%的设备。