日扬旗下明远 成长爆发力强

日扬集团与明远精密经营团队。图／明远精密提供

「明远精密」提供半导体制程所需的电源电浆解决方案及相关维修服务，是日扬集团旗下具高技术性、成长爆发力强的子公司。此次SEMICON明远展出主轴包括：臭氧供应器与系统、射频电源系统及机械手臂。

明远自主开发的先进臭氧产生器系统AOS-6800用于LED产业ALD（Atomic layer deposition 原子级层积）制程，不仅获得SEMI S2认证，并通过ALD主要设备厂认证及ALD终端大客户验证。据悉，明远已握有数十台AOS-6800在线订单，并积极开发其他客户，成为业务拓展的重点系统产品之一。

明远是国际半导体设备大厂「唯一」臭氧产生器系统全球策略维修伙伴，服务客户包含台湾、中国大陆、日本、东南亚及欧洲各大晶圆厂，近期并通过美国客户验证，逐步深化合作中。

此外，明远研发制造的RF射频电源系统「ACME」强调节能、高效、低维修率，推出近四年来已通过所有台湾晶圆代工厂验证，成功取代国际品牌于台湾市场的供应角色，并推进中国大陆及数间日本晶圆厂，明年也将正式出货至美国。明远于此次大会也展出晶圆传送机械手臂，呈现日扬集团切入第三类半导体设备重要的策略技术。

明远精密总经理卢俊宏表示，今年前八月营收成长约为25％，主要来自ACME销售及臭气产生系统维修业绩成长。未来除了AOS-6800和ACME营收比重将持续增加，新设计的RPS远端电浆源系统也已通过经济部科专A+功能验证，一至两年成功商品化之后，预期将为明远带来新的成长动能。

明远精密董事长寇崇善博士表示，目前已开始筹备IPO，最快将于2023年底挂牌兴柜。盼借由公开发行提升公司能见度，以召募优秀人才，也希望在资本市场的支持下，为发展自有品牌和拓展国际市场，注入更多资源和能量。