元智大学 加速半导体制程绿色化

元智大学机械系钟国滨教授（左）率领团队规划先进质子交换膜水电解技术，获科研创业萌芽补助590万，加速半导体绿色化与发展。图／元智大学提供

元智大学机械系钟国滨教授团队规划「先进质子交换膜水电解技术」制造低碳臭氧水系统，创新技术应用于晶圆清洁制程，可取代高碳臭氧与降低湿式法化学药剂使用，实践半导体制程绿色化，获得国科会科研创业计划萌芽案肯定，成为在众多生医题材中，唯一与半导体产业接轨的科研创业计划。

钟国滨教授团队发展先进质子交换膜水电解技术，将纯水以低电压制取臭氧，具备低能耗与制程简单优势，他表示半导体晶圆制造过程中如蚀刻、沉积、去光阻等，皆对晶圆表面造成污染，进而会影响晶圆品质，目前业界解决成熟晶圆制程表面污染使用之清洁制程为湿式法，透过使用硫酸、氢氟酸等化学药剂处理晶圆表面污染，再使用大量去离子水洗涤，以避免残留问题，然而此清洁制程将导致大量水资源使用与化学药剂污染环境与伤害人体之问题。

钟国滨指出，国科会科研创业计划以开发低碳高浓度臭氧水模组为目标，初期提供晶圆清洗设备商整合与内部测试验证，中长期生产低碳高浓度臭氧水与运用于晶圆制程的绿色清洁，取代现有日本与德国的设备进口，实践半导体周边设备自主开发与维修即时。

元智大学创新创业中心盘点校内具备新创能量之团队，协助产官学研跨领域与资源连结，提供桥接与辅导，中心主任曾咏青教授在计划申请过程，以其创业经验和策略观点，协助理工与商业领域之间的衔接与转译，亦协助钟国滨教授团队成功获得国科会科研创业计划萌芽案补助。