中微公司2023年度净利润同比增超五成 今年拟推出超10款新型薄膜沉积设备

《科创板日报》3月19日讯（记者 黄修眉） 3月18日晚间，中微公司发布2023年年度报告称，该公司2023年实现营收62.64亿元，同比增长32.15%；实现归母净利润17.86亿元，同比增长52.67%。中微公司董事长、总经理尹志尧在年报中表示，2023年成为中微自成立以来，经营业绩最好的一年。

《科创板日报》记者注意到，从近几年数据来看，中微公司2023年归母净利润创下近三年新高。其2021年至2023年，归母净利润分别为10.1亿元、11.7亿元、17.86亿元。按单季度计算，2023年第一季度至第四季度，其归母净利润分别为2.75亿元、7.28亿元、1.57亿元、6.26亿元。

中微公司2023年研发投入占营收比例为20.15%，比2022年提升0.56个百分点。

对于2023年业绩，中微公司董事长、总经理尹志尧在年报中表示，占该公司营业收入约75.1%的等离子体刻蚀设备在2021年、2022年分别增长了55.4%和57.1%；在此基础上，2023年增长了49.43%，营收达到47.03亿元。此外，该公司的MOCVD设备2023年实现营收4.62亿元。

据中微公司披露，该公司过去20年开发了一个完整系列的15种等离子体刻蚀设备，可覆盖我国95%以上的刻蚀应用需求，在性能、稳定性等各项指标上满足先进制程客户的各类严苛需求。

新增订单额同比增超三成

对于业绩增长的原因，中微公司在年度报告中也提到新增订单额。该公司表示，报告期内，其新增订单金额约83.6亿元，较2022年新增订单的63.2亿元增加约20.4亿元，同比增长约32.3%。

其中，刻蚀设备新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%；受终端市场波动影响，2023年MOCVD设备订单同比下降约72.2%。

“刻蚀设备和薄膜设备越来越成为更关键的、市场空间更大的设备品类，各占集成电路设备总市场的22%左右，而且还在持续增长。”尹志尧表示。

尹志尧提到，近两年新开发的沉积各种导体薄膜的设备LPCVD和ALD，已有4款设备进入市场，其中3款获得客户认证，取得了重复性订单。该公司计划在2024年推出超过10款新型薄膜沉积设备，快速扩大产品覆盖度。

该公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等新产品，也计划在2024年投入市场验证。此外，中微公司通过投资布局了第四大设备市场——光学检测设备。

LED显示产业或将助力MOCVD

《科创板日报》记者注意到，作为半导体设备公司，中微公司向下游客户提供半导体制造设备，并促进各类新产业的持续发展。

该公司在年报中表示，集成电路应用领域中，人工智能、大数据、可穿戴设备、自动驾驶汽车、智能机器人等应用的发展将释放出大量芯片制造的需求，进一步推动上游半导体设备行业的稳步增长。

光电子LED产业中，以LED新型显示为代表的新兴产业，逐渐成为显示行业追逐的热点。 当前新兴的小间距LED显示在物理拼缝、显示效果、功耗、使用寿命方面均有优越表现，未来随着Mini LED和Micro LED技术的进一步发展和完善，LED新型显示产业有望成为继LED照明产业后，MOCVD应用产业发展最迅速的版块之一。

中微公司在2023年10月的投资者调研中表示，市场机构预测到2026年，全球每年需求超过800台MOCVD设备。中微公司在其中三个领域，即Mini LED、Micro LED、功率器件有开发相关产品。该公司预计可以覆盖大约75%的MOCVD设备市场。

在化合物半导体功率器件领域，随着新基建、“碳达峰、碳中和”的政策与规划密集推出，化合物半导体在清洁能源、新能源汽车及充电桩、功率器件快充、大数据中心等应用市场的需求已经开始呈现出快速增长趋势。