准力双面研磨与抛光机 两机一体更优异

准力JL-D16双面研磨与抛光机。图／业者提供

准力机械成立至今已有30多年，专精于研发制造各式平面磨床，看好半导体与光电产业之远景，与日本知名厂商技术合作，积极致力于研发光电元件之创新制程，而新开发成功的高精密JL-D16双面研磨与抛光机新产品，针对矽晶圆、石英、SIC、玻璃、蓝宝石、陶瓷基板等硬脆材料磨削加工而研发新产品，具备了优异加工性能。

准力公司负责人林馨堂表示，新推出可应用于晶圆、陶瓷、石英、玻璃及宝石等硬脆材料磨削加工的JL-D16双面研磨与抛光机二机一体新产品，采用行星式旋转磨盘、正逆转机构之设计，使研磨后之工件具有优异的平面度、平行度和表面精度。

JL-D16双面研磨与抛光机系列特性：JL-D16能同时为平面工件双面研磨或抛光，适用非金属及硬碎材料之表面加工，包括：矽晶圆、石英、SIC、玻璃、蓝宝石、陶瓷基板，以及加工金属材料，如铝材、不锈钢和机械油封等。

超大磨盘外径一次能放置五个DP12，200齿的行星式夹具，再搭配电控比例阀之压力控制方式，确保大量生产之加工效率；准力注重品质与加工能力，JL-D16的最小加工厚度可达0.4MM，且产品加工后的表面精度可达到0.3UM。

JL-D16双面研磨与抛光机，为台湾第一台晶圆加工机，此机可广泛应用于如石英、蓝宝石、陶瓷与矽晶圆等需快速薄化之硬脆材料上，此一晶圆加工机至今仍受到晶圆封测大厂人员的赞赏，显示台湾有能力自行研发、生产制造晶圆研磨加工机，准力机械公司迈向半导体新里程碑。网址：www.joenlih.com.tw。