台積電創空污快篩即時感測儀 1分鐘掌握異常數據

台积电积极强化空污防制设备监测效能，创新研发「空污快筛即时感测仪」，可同时检测氨等5种气体，并同步连接「厂务监控及数据收集系统」，使数据取得时间由1周大幅缩短为1分钟，更即时掌握并处理异常污染源。

晶圆代工厂台积电在新出炉的ESG（环境、社会责任、公司治理）电子报中指出，过往以人工采样分析方式进行全厂烟道检测、排放溯源调查及现址式处理设备效能验证作业。

为更有效掌握烟道污染状况及改善成效，台积电于民国112年1月开发空污快筛即时感测仪，应用交变电流共振固体与气体感测技术，制作酸碱排气即时感测器，自主设计特殊电极结构，当气体与电极接触时，可借由交流电感测特定共振讯号与强度变化，达到快速辨识污染源类别及浓度的效果。

台积电表示，不同于人工采样仅能呈现单一时间点的非即时数据，空污快筛即时感测仪可同步对接厂务监控及数据收集系统，以即时、原位、连续式监测与图表形式呈现数据趋势，可以更快发现异常污染源并进行溯源追踪。

此外，还能依烟道排放气体的物种及浓度，评估投入中央式处理设备的药剂最适量，精准调整酸碱值、导电度并控制清洗水量，不仅优化处理程序、妥善运用药剂资源，亦降低现场作业人员采样暴露酸碱气体的风险。

台积电指出，空污快筛即时感测仪可同时检测氨、氢氟酸、盐酸、硫酸、硝酸5种气体，截至113年4月已导入晶圆2厂、晶圆5厂、晶圆15A厂、晶圆18A厂、晶圆18B厂，预计115年导入所有台湾与海外厂区。

台积电同时评估监测氯气、含氟化物、氮氧化物等气体的可行性与效益，以及将感测仪应用于空品车周界监测分析，以落实空污减量。

台积电还积极强化绿色化学品管理，将不使用环境危害性化学品N-甲基吡咯烷酮（NMP）、全氟烷基物质（PFAS）列为永续目标之一，并进一步扩展至供应链原物料生产阶段。

台积电表示，在不使用NMP与PFAS的基础下，成功扶植供应商创新研发符合制程需求的高硬度、高强度、抗化性的全新世代低温聚醯亚胺，截至113年4月已导入5奈米、3奈米制程，预计下半年2奈米制程进入试量产，达到环保与品质双重效益。

台积电并积极打造多元共融工作环境，为强化身心障碍人才聘任与发展，举办为期6个月的「无障碍职场体验营」，导入职能治疗师参与招募流程及职务再设计，加速身障人才融入职场生活、提升实务能力。

台积电同时推出小班制「无障碍友善职场工作坊」，深化员工对身心障碍工作者的理解与尊重、增进互动关系。