台积电化学品废液再利用　年减碳有望逾3万公吨

▲台积电。（图／记者高兆麟摄）

记者高兆麟／台北报导

台积电致力建立绿色循环体系，透过「电子级化学品回收计划」成功再生异丙醇、四甲基氢氧化铵及环戊酮等化学品重回厂内使用。

台积电进一步针对黄光制程中广泛应用的有机溶剂丙二醇甲醚及丙二醇甲醚醋酸酯，与供应商合作开发废液再利用技术，运用「源头分流管理、制程参数优化、成分图谱比对」三大作业流程，将废液再制为符合台积公司品质规格的电子级PGME／PGMEA；民国115年1月于晶圆十五B厂及晶圆十八A厂验证成功，并将于第2季导入晶圆十四B厂、晶圆十五A厂、晶圆十五B厂、晶圆十八A厂、晶圆十八B厂使用，预计全面推行后可年减新液采购量1万6,000公吨、减碳3万1,100公吨，实现摇篮到摇篮的资源循环价值。

PGME／PGMEA主要应用于半导体黄光制程，通常做为混合溶剂共同使用，包含晶片清洗、光阻稀释及设备清洁，以往使用后的废液经初步水分与固形物分离处理后，多被转售至涂料、油墨与纺织品等工业级市场。随着先进制程推进，PGME／PGMEA需求量持续增加，台积公司携手供应商积极投入废液回收再生技术与流程优化，打造化学品循环再利用模式。首先，针对废液中不同溶剂的沸点差异可能影响回收分离效率及电子级物料纯度的挑战，台积公司与供应商合作建立废液源头管理机制，精确分流不同纯度液体；其次，透过调控蒸馏塔制程参数，有效去除有机杂质与金属离子，确保高纯度回收原料，进一步提升酯化反应良率。此外，为使再生的PGME／PGMEA符合电子级标准，供应商须于出货前进行有机成分图谱比对，确保其性能及可靠度满足半导体制程需求，达到产品品质与制造稳定的双重保障。

台积电秉持「绿色力量的执行者」理念，积极响应联合国第12项永续发展目标─责任消费与生产，持续与供应商合作开发不同化学品废液纯化技术；除PGME／PGMEA外，亦针对醋酸正丁酯（n-Butyl Acetate, NBAC）与氢氟酸（Hydrofluoric Acid, HF）进行回用可行性评估，以期实现废液高效回收与电子级再生材料量产化，为永续制造树立新标竿。