见微科技 溅镀技术聚光

见微科技依据溅镀产业上下需求，持续发展各种最尖端新颖的电浆技术。图／见微科技提供

见微科技致力于提供溅镀产业问题解决方案，其愿景为成为最先进溅镀产业的服务业者，连结靶材制造商及靶材使用商成为溅镀产业中最具竞争力团队。发展至今，该公司依据溅镀产业上下需求，持续发展各种最尖端新颖的电浆技术。

薄膜制造是一项技术密集产业，广泛应用在所有科技产品当中，其中溅镀技术是一不可或缺的关键技术，溅镀技术主要应用于薄膜制造，可见于在日常生活中的各种产品，从半导体领域与能源产业到平面显示器、磁光储存媒体、机械器具加工与装饰性镀膜等，该公司总经理蔡孟宏表示台湾在溅镀（Sputter）薄膜领域已发展多年，已是一个相当成熟的产业，然而溅镀设备中关键的溅镀源（Sputtering Cathode）部件却只依靠国外少数厂商提供。

随着薄膜材料越趋复杂的合金化，溅镀源与溅镀靶材的搭配适切性越趋重要，需透过非常精密的材料与溅镀源磁场设计搭配，才能取得优异特性的薄膜，在这方面见微科技已与全球靶材商及台湾光洋科在靶材与薄膜均匀性关系研究，进行多面向合作，成为市场上极具潜力之产品。过去所有发展技术皆是围绕溅镀技术发展，溅镀源又是可称为溅镀设备的心脏部件，故见微科技将此技术列为未来几年的技术发展重点，目前已经成功开发了SC与SCR系列溅镀源提供科研单位设备使用。

见微科技也盼在近年政府大力推动关键技术本土化政策下，国内自行设计开发的溅镀源可以对产官学界的发展能有相当大的帮助。