《科技》ASML携手imec 支援欧洲半导体研究与永续创新

此项合作结合ASML完整的产品组合，尤其是开发高阶技术节点，采用包括0.55 NA和0.33 NA极紫外光（EUV）、浸润式深紫外光（DUV）、YieldStar光学量测设备及HMI单光束与多光束检测技术。

上述工具未来将安装在imec最先进的试验制程，并整合到由欧盟及比利时政府资助的奈米晶片试验制程，为全球半导体生态系提供用来研发2奈米以下技术的顶尖基础设备，研发聚焦领域将包含矽光子、记忆体与先进封装。

上述研发聚焦研发领域，将在多元化市场为未来基于半导体的AI应用提供完整的堆叠创新。而双方此次合作的新领域，包括为imec研究流程中的创新发想与活动挹注可观资助，这些创新带来环境与社会效益。

ASML执行长Christophe Fouquet表示，这项协议显现ASML和imec长期合作的下一步，显现为半导体产业开发解决方案的共同志向，也符合针对未来促使社会受惠的科技和创新进行投资的策略。

imec执行长范登霍夫（Luc Van den hove）表示，期待持续发展与ASML独特的长期伙伴关系，在未来至少30年为业界提供最先进的图形化解决方案，并能拓展并持续精进试验制程性能，提供整个半导体生态系最顶尖的研发，以应对由AI驱动的技术发展带来的挑战。